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ICP發(fā)射光譜儀的RF發(fā)生器通過(guò)工作線圈給等離子體輸送能量，維持ICP光源穩(wěn)定放電，目前ICP的RF發(fā)生器主要有兩種震蕩類(lèi)型，即自激式和它激式。

.1、自激式RF發(fā)生器

自激式RF發(fā)生器又稱(chēng)自由振式RF發(fā)生器，它有整流電源、振蕩回路和電子管功率放大器三部分組成。

整流電源是由三相電源經(jīng)升壓、三相全波整流及L、C濾波提供電子管功率放大器所需的直流高壓（3千伏）。

其振蕩回路是由一個(gè)電容和一個(gè)電感組成的并聯(lián)回路，當(dāng)有外加電源時(shí)，回路內(nèi)將產(chǎn)生振蕩信號(hào)，回路能量交替地儲(chǔ)存在電容和電感上。當(dāng)回路中電阻很小時(shí)，即        R< 2（L/C）^1/2，其振蕩頻率為：f=1/{2p（L/C）^1/2 }。

由于回路電阻的存在，每次振蕩總要消耗部分能量，使振蕩受到阻尼，為了維持等輻振蕩，并保持一定的輸出功率，使用電子管功率放大器，把L-C振蕩回路的信號(hào)正反饋一部分供給放大器的柵極，經(jīng)功放后再輸出給L-C回路，這樣L-C回路不斷地從放大器取得能量，除反饋一部分外，大部分能量用電感耦合方式供給等離子體，從而維持穩(wěn)定的等輻振蕩和功率輸出。信號(hào)正反饋的形式國(guó)外多采用電容反饋型，而國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的則多采用電感反饋型。

自激式振蕩器的主要特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、價(jià)格低廉、制造調(diào)試比較容易，在技術(shù)指標(biāo)上能基本滿(mǎn)足光譜分析要求，但其主要的缺點(diǎn)是頻率穩(wěn)定性及功率穩(wěn)定性較差，這主要是由于等離子體負(fù)載是作為振蕩回路的一部分，負(fù)載的改變將影響L-C振蕩器的頻率及回路的工作狀態(tài)。

2、它激式RF發(fā)生器

它激式RF發(fā)生器又稱(chēng)晶體控制型RF發(fā)生器，它與自激式不同，它是利用石英晶體的壓電效應(yīng)構(gòu)成振蕩器也取代L-C振蕩回路的電容、電感元件。

將石英晶體按一定方位角切制成一塊正方形（或長(zhǎng)方形或圓形）簿片，在晶片的兩個(gè)對(duì)應(yīng)表面上噴涂金屬板，就可構(gòu)成石英晶體振蕩器。當(dāng)晶體片上加上一個(gè)電場(chǎng)，就會(huì)使晶片發(fā)生機(jī)械形變，相反，在晶體片上加一個(gè)機(jī)械力又會(huì)在相應(yīng)的方向上產(chǎn)生電場(chǎng)，這種現(xiàn)象稱(chēng)石英晶體的壓電效應(yīng)。若在晶片上下的金屬板上施加變電壓，就會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的機(jī)械形變，即機(jī)械振動(dòng)，通常情況下，這種形變振幅很小，當(dāng)外加交變電壓為某一特定頻率時(shí)，振幅會(huì)突然嗇，這種現(xiàn)象為壓電諧振，這一頻率稱(chēng)為晶體的諧振頻率，它和晶體的尺寸有關(guān)。

在它激式振蕩器中，常應(yīng)用一個(gè)頻率為27.12MHz或40.68MHz的石英晶體振蕩器作為振源，經(jīng)過(guò)兩級(jí)功率放大，就可得到27.12MHz或40.68MHz，2.0Kw的輸出信號(hào)。通過(guò)匹配網(wǎng)絡(luò)和同軸電纜傳輸?shù)截?fù)載線圈上。這類(lèi)發(fā)生器頻率穩(wěn)定度高，耦合效率好，功率輸出易于自動(dòng)控制，但放電回路的電學(xué)特性的任何微小變化，會(huì)導(dǎo)致阻抗失配，需調(diào)節(jié)至最佳匹配，儀器線路比較復(fù)雜，成本較高，但性能較好。

ThermoElemental公司的的ICP均采用晶體控制型RF發(fā)生器，其結(jié)構(gòu)框圖如下：

晶體控制型RF發(fā)生器的高功率輸出采用多級(jí)放大后才獲得，它包括：

1)       RF源放大：由石英晶體振蕩器（27.12MHz）和放大電路組成，受來(lái)自AGC（自動(dòng)增益控制）的反饋電壓和計(jì)算機(jī)給定的控制，其輸出是穩(wěn)定的、最大功率為3w的高頻信號(hào)。

2)       RF驅(qū)動(dòng)放大：它介于源放大和功率放大之間，其作用是放大RF源放大級(jí)的高頻信號(hào)，以驅(qū)動(dòng)功率放大器，并隔絕源振蕩器以改善穩(wěn)定性，驅(qū)動(dòng)放大級(jí)的最大輸出功率為65w。

3)       RF功率放大：它主要由大功率電子管（3cx1500A）來(lái)實(shí)現(xiàn)高頻信號(hào)的進(jìn)一步放大，并通過(guò)工作線圈把RF功率耦合到等離子體上。功率放大級(jí)的最大輸出功率可達(dá)2Kw。

4)       匹配網(wǎng)絡(luò)：在以上各級(jí)放大器之間均存在阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)，是為RF功率在各級(jí)間傳輸中獲得最高的效率。其中功率放大級(jí)的輸入、輸出匹配網(wǎng)絡(luò)十分重要，輸入匹配采用Л型匹配電路，如右圖調(diào)整匹配電容Cl和C₂，使輸入功率放大級(jí)的反射功率幾乎為零。輸出匹配為自動(dòng)匹配（Auto-Turning），自動(dòng)跟蹤等離子體負(fù)截的變化，使等離子體始終獲得最高的功率傳輸效率。

5)       自動(dòng)增益控制（AGC）：它的作用是自動(dòng)調(diào)整整個(gè)RF發(fā)生器的放大倍數(shù)，不管等離子體的阻抗以及等離子體與負(fù)載線圈耦合有何變化，始終保證等離子體的功率恒定不變。AGC同時(shí)又受計(jì)算機(jī)控制，以實(shí)現(xiàn)RF功率的計(jì)算機(jī)控制。

6)       工作線圈：工作線圈的作用是把RF發(fā)生器的高頻能量，耦合到等離子體。由于高頻電流傾向于在導(dǎo)體表面流動(dòng)（即趨膚效應(yīng)），工作線圈是由2.5圈鍍銀外層的空心銅管制成，內(nèi)通冷卻水冷卻。為了防止其表面腐蝕或匝間高壓放電，工作線圈外套一層四氟乙烯。

7)       電源系統(tǒng)（POWER UNIT）：為RF發(fā)生器提供各種電源，包括：+5V、+12V、±15V、+48V、+3800V和120V AC。其中+48V提供給RF驅(qū)動(dòng)放大， +3800V提供給RF功率放大。該電源系統(tǒng)具有各種保護(hù)，并通過(guò)其電源控制單元（Power Unit Control）實(shí)現(xiàn)與整個(gè)儀器的通訊和控制。

3、固態(tài)式RF發(fā)生器

       固態(tài)式RF發(fā)生器是用一組固態(tài)場(chǎng)效應(yīng)管（一般是十幾只配對(duì)）來(lái)替代經(jīng)典RF發(fā)生器中的大功率電子管，以獲得大功率高頻能量輸出。固態(tài)式RF發(fā)生器具有更小的體積，有利于儀器的小型化。國(guó)產(chǎn)ICP發(fā)射光譜儀中北京華科天成科技公司的ICP光譜儀產(chǎn)品也采用了固態(tài)式RF發(fā)生器